YAG קריסטל
גביש YAG (Yttrium Aluminium Granat, Y₃Al₅O₁₂) הוא לייזר וחומר אופטי בעל ביצועים-גבוהים הידוע בקשיותו הגבוהה, מוליכות תרמית גבוהה, יציבות כימית טובה והומוגניות אופטית מעולה. הוא נמצא בשימוש נרחב בלייזרים מוצקים-, מצעי LED זרחני, חלונות אופטיים, ציוד לייזר רפואי ומערכות אלקטרו אופטיות הגנה-.
לחברת חמי מומחיות טכנית עמוקה בעיבוד מדויק של חומרים קשים ושבירים. עבור גבישי YAG, Hemei פיתחה תהליך ליטוש יעיל ויציב המאפשר עיבוד שניתן לשליטה מלא מליטוש גס ועד דק, המבטיח שמשטח הקריסטל של YAG עומד בתקני האיכות של "דרגת לייזר- או "אופטית-דרגה".
דרישות יישום
מטרות הליטוש עבור גבישי YAG כוללות:
הפחתת חספוס פני השטח (Ra) ל< 0.5 nm.
השגת דיוק דמויות פני השטח (ערך PV) טוב יותר מ-λ/10 (@632.8 ננומטר).
הבטחת משטח פנוי-ללא נזק ללא סדקים-תת-פני השטח, עמידה בדרישות סף הנזק של לייזר-.
שליטה באחידות עובי (TTV) בטווח מיקרומטר מסוים.
כדי להשיג מטרות אלו, התהליך של Hemey משתמש במערכות הדבקה מותאמות אישית ובנהלי ליטוש מרובי-שלבים כדי להבטיח דיוק גיאומטרי ושלמות פני השטח במהלך העיבוד.
מפרטי מערכת
מערכת הפוליש המודולרית של חמי תומכת בעיבוד גבישי YAG בגדלים וצורות שונות. מערכות הליבה כוללות:
HSM-מסדרת L/LP ציוד חיפוי: להסרת חומר ראשונית ובקרת עובי.
מערכת HSM-CMP Series Chemical Mechanical Polishing (CMP): להשגת משטחים חלקים במיוחד וללא נזקים-.
תת-מערכות מפתח כוללות:
יחידת הדבקה ספציפית לפרוסות/גביש-(WB)
מתקני פוליש מדויק מסדרת SJ/ASJ
C-ASJ Drive Head High-מערכת ליטוש מהירות
זרימת עיבוד
הדבקה והרכבה: קריסטל YAG מודבק באופן זמני לצלחת תמיכה באמצעות יחידת ה-WB, ולאחר מכן מותקן על מתקן הליטוש.
ליטוש גס ובינוני: ליטוש מבוקר מתבצע בציוד HSM-L כדי להסיר את שכבת נזקי העיבוד.
ליטוש עדין: מערכת HSM-CMP מבצעת את הליטוש הסופי. פרמטרים כמו לחץ, מהירות סיבוב וזרימת תמיסה מותאמים בזמן אמת-כדי להשיג חלקות פני השטח ברמת ננומטר-.
תוצאות אופייניות
חספוס פני השטח Ra < 0.5 ננומטר.
דיוק דמויות פני השטח PV פחות או שווה ל-λ/10.
קצב הסרת חומר ניתן לשליטה של 1-2.5 מיקרומטר/דקה.
מתאים לפרוסות YAG בקוטר של עד פחות או שווה ל-6 אינץ' וקריסטלים בצורת.
חברת Hemei מספקת פתרון ליטוש מלא ואמין עבור גבישי YAG, המסוגל לספק בעקביות איכות פני השטח ברמת ננומטר- וביצועים אופטיים גבוהים. זה תומך ביישום התעשייתי של גבישי YAG בתחומים-מתקדמים כגון לייזרים ואלקטרוניקה אופטו.
